在氣體流量計檢定和校準(zhǔn)領(lǐng)域，音速噴嘴法氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置以其結(jié)構(gòu)簡單、性能穩(wěn)定和維護(hù)簡單等特點得到了廣泛的應(yīng)用。隨著計算機、自動化技術(shù)的發(fā)展并與音速噴嘴氣體流量技術(shù)相結(jié)合，高度自動化的音速噴嘴法氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置已成為主要標(biāo)準(zhǔn)裝置。

正壓法裝置以空氣壓縮機組為動力氣源，并由壓力罐及壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)為測試管段提供持續(xù)、穩(wěn)定的氣源，可避免氣體潔凈度和濕度對測量精度造成的干擾。但正壓法裝置系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，建造和維護(hù)成本高。負(fù)壓法裝置通過真空泵組產(chǎn)生負(fù)壓，負(fù)壓與滯止壓力達(dá)到臨界背壓比即可達(dá)到臨界流狀態(tài)。負(fù)壓法裝置直接用環(huán)境大氣作為氣源，通過軟件修正減小環(huán)境溫度、濕度產(chǎn)生的影響，具有氣體流量穩(wěn)定、投資少、能耗低、準(zhǔn)確度高、維護(hù)方便等優(yōu)點。因此，音速噴嘴法的氣體流量計檢定系統(tǒng)采用負(fù)壓法設(shè)計。

音速噴嘴氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置通常由氣源、試驗管路、臨界流流量計、計時器和控制設(shè)備等組成。其中氣源包括壓氣機和壓力儲氣罐、標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)、原始標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)。臨界流流量計主要分音速噴嘴和音速文丘里噴嘴兩種。音速噴嘴又稱臨界流噴嘴，它的喉部后面不帶擴張管；音速文丘里噴嘴又稱臨界流文丘里噴嘴，它的喉部后面帶有擴張管。臨界流流量計包含一次裝置和二次裝置兩部分。一次裝置是音速噴嘴或音速文丘里噴嘴，二次裝置包括測量一次裝置前氣體滯止壓力 P0的壓力計和測量一次裝置前氣體滯止溫度 T0的溫度計。臨界流量計中的噴嘴安裝在滯止容器壁上，不同喉徑的噴嘴組合可以給出多個恒定質(zhì)量流量點。